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Moonliu

新虫 (初入文坛)

[求助] 有谁知道微型锥形孔阵列怎么加工么 已有2人参与

大概是1mm高,底部宽度为0.8mm,顶部宽度为0.5mm左右(锥度后续可调),间距为0.25mm,我大概是想通过掩膜电化学加工加工这种锥形孔阵列结构,不知道这样深径比大于0.5的孔是否可以用直流电源加工出来?

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光刻电子

禁虫 (正式写手)

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2楼2017-05-16 22:08:46
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Moonliu

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 光刻电子 at 2017-05-16 22:08:46
花点钱做块掩模版就可以了。

能稍微具体一下吗?我看过论文有通过掩膜版加工喇叭孔的?不知道你能不能详细解释一下

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3楼2017-05-23 10:11:09
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alfaromeo75

新虫 (小有名气)

我只知道喷油器的锥形喷孔是用电火花放电法加工的。那家伙的深径比保证大于0.5。就是不知道是否适用于你的这个情况。

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4楼2017-05-23 10:49:05
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湖湘蕭四

新虫 (初入文坛)

什么材料上?量大吗?孔径的光洁度和精度要求高吗?

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5楼2017-05-23 10:56:58
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6楼2017-05-23 11:07:23
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Moonliu

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
5楼: Originally posted by 湖湘蕭四 at 2017-05-23 10:56:58
什么材料上?量大吗?孔径的光洁度和精度要求高吗?

我曾经看到过那个,但我这个是阵列加工,用电火花的话肯定非常麻烦,我想用掩膜微电解加工,主要控制的参数是锥孔的角度,高度,和深径比,你觉得行么?或者哪里有做这个的么?

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7楼2017-05-23 16:45:51
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Moonliu

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
5楼: Originally posted by 湖湘蕭四 at 2017-05-23 10:56:58
什么材料上?量大吗?孔径的光洁度和精度要求高吗?

在铝片上加工

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8楼2017-05-23 16:46:08
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Moonliu

新虫 (初入文坛)

9楼2017-07-25 15:42:10
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ninghflut

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

电解加工应该能做,具体加工参数要看加工要求
10楼2017-07-27 10:17:54
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