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[求助]请高手帮忙修改一句英文表达，谢谢
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总觉得下面这句写的不好，甚至有语病，高手麻烦帮改下，谢谢。 In Fig. 5, as the chamber pressure increases from 0.5 to 1 Torr, the RMS roughness and deposition rate of the film increase from 2.168 to 3.183 nm and from 8.675 to 38.70 nm/min, respectively. |
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