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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 【求助】RF磁控溅射氧化物
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wan213

银虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】RF磁控溅射氧化物

求助各位大虾，我们实验室用RF磁控溅射法向玻璃基片溅射Bi2O3靶材，总也溅射不上去，玻璃上几乎是透明的。而且溅射完毕后靶材上会出现一层黑色的物质，也不知道是什么。我们的控制条件大约是功率20，反溅射功率0.25，氩气气压5，自偏压20，温度室温到100。不知道哪个条件没控制好，还是黑色膜的问题，望这方面的牛人不吝赐教。。。
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1楼 2009-01-08 09:41:14
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chenfire

木虫 (著名写手)
★
memser(金币+1,VIP+0):3X！
氧化铋我没溅射过，不过金属氧化物需要比较高的溅射功率，否则虽然看起来起辉了，但是基片上打不上东西。20W的功率对于金属氧化物来说，我认为还是太小了。
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非淡泊无以明志，非宁静无以致远
2楼2009-01-08 11:29:00
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wan213

银虫 (初入文坛)
多谢楼上的解答,我回去试试看
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3楼2009-01-08 18:43:48
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bluesky238

木虫 (正式写手)
wdwsnnu(金币+0,VIP+0):3x，谢谢讨论
功率太小
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4楼2009-01-09 11:05:08
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