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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » AFM如何测epi级硅衬底的形貌？
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Gavinlai

新虫 (初入文坛)

[求助] AFM如何测epi级硅衬底的形貌？ 已有1人参与

用Bruker家AFM测衬底的平整度。

手头上有3种衬底，一种是蓝宝石，一种是硅片A，另外一种是硅片B。
两家硅片的规格说写是一样的规格，平整度<0.5 nm，但是实际上同炉外延后出来的效果有相当大的差距，所以想自己用AFM验一下硅片表明的形貌。

但是其中比较头疼的就是AFM 轻敲Tapping 模式测量参数的调节，尤其是 Setpoint，以及闭环PID的调节。

在测蓝宝石衬底时，AFM一直有比较好的效果。但是一到硅衬底，就是各种噪声。网上查 了一下，对于比较平整的表面，需要将Setpoint调小然后增大P Gain，I Gain。 但是实际操作上，无论怎么调小Setpoint，增大PID，都不能得到有用的信号。 再者，PID过大会引起信号的振荡。

哪位高手有用AFM的经验，给小弟一个测硅衬底的参考参数。
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1楼 2017-04-26 11:39:46
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
Gavinlai: 金币+5 2017-05-10 17:06:58
这个不大对啊。一般用来外延的蓝宝石，表面的粗糙度是0.1nm水平的，表面比硅片的质量还好才对。
如果说你用AFM测蓝宝石是对的，那么你那个测硅片的噪声就很奇怪了。
我们自己测过很多的硅片，经常把片子送给我们配合的实验室帮我们检测，0.3nm到0.1nm的Ra经常出现，不应该有你这种现象的。
你买的片子的具体指标是什么？哪个工厂生产的？你可以短信发给我看看。
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2楼2017-04-28 15:37:38
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啥也博士

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2017-04-28 15:37:38
这个不大对啊。一般用来外延的蓝宝石，表面的粗糙度是0.1nm水平的，表面比硅片的质量还好才对。
如果说你用AFM测蓝宝石是对的，那么你那个测硅片的噪声就很奇怪了。
我们自己测过很多的硅片，经常把片子送给我们配 ...

您好，我是做AFM的初手，第一次做，想做减水剂的形貌，想用新鲜云母做底片，但是我不知道应该需要规格多大的底片。
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3楼2017-05-04 21:14:14
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 啥也博士 at 2017-05-04 21:14:14
您好，我是做AFM的初手，第一次做，想做减水剂的形貌，想用新鲜云母做底片，但是我不知道应该需要规格多大的底片。...

sorry，小木虫的提醒我老收不到，所以回漏掉回贴。
我不是您这个方向的，对于这个应用不敢说。
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4楼2017-05-11 11:40:00
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