| 查看: 888 | 回复: 3 | |||
[求助]
AFM如何测epi级硅衬底的形貌？ 已有1人参与
|
|
用Bruker家AFM测衬底的平整度。 手头上有3种衬底，一种是蓝宝石，一种是硅片A，另外一种是硅片B。 两家硅片的规格说写是一样的规格，平整度<0.5 nm，但是实际上同炉外延后出来的效果有相当大的差距，所以想自己用AFM验一下硅片表明的形貌。 但是其中比较头疼的就是AFM 轻敲Tapping 模式测量参数的调节，尤其是 Setpoint，以及闭环PID的调节。  在测蓝宝石衬底时，AFM一直有比较好的效果。但是一到硅衬底，就是各种噪声。网上查 了一下，对于比较平整的表面，需要将Setpoint调小然后增大P Gain，I Gain。 但是实际操作上，无论怎么调小Setpoint，增大PID，都不能得到有用的信号。 再者，PID过大会引起信号的振荡。 哪位高手有用AFM的经验，给小弟一个测硅衬底的参考参数。  |
回复此楼» 猜你喜欢
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有62人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
-
武汉高校国家级人才团队招收材料，化学，纺织等专业硕士调剂生
已经有26人回复
-
纺大化工学院（官方群）-院士团队招生-学生自由度高发展好-培养模式成熟
已经有0人回复
-
温州大学化材学院王娟课题组招生
已经有5人回复
-
学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟已有10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
武汉纺织大学化工学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
南昌航空大学蒋华麟教授课题组招收化学、环境、碳达峰碳中和及相关专业硕士信息
已经有0人回复
-
湖北师范大学复试调剂
已经有0人回复
yswyx 
禁虫
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
2楼2017-04-28 15:37:38
3楼2017-05-04 21:14:14
yswyx
无虫
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
4楼2017-05-11 11:40:00
