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AFM如何测epi级硅衬底的形貌？ 已有1人参与
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用Bruker家AFM测衬底的平整度。 手头上有3种衬底，一种是蓝宝石，一种是硅片A，另外一种是硅片B。 两家硅片的规格说写是一样的规格，平整度<0.5 nm，但是实际上同炉外延后出来的效果有相当大的差距，所以想自己用AFM验一下硅片表明的形貌。 但是其中比较头疼的就是AFM 轻敲Tapping 模式测量参数的调节，尤其是 Setpoint，以及闭环PID的调节。  在测蓝宝石衬底时，AFM一直有比较好的效果。但是一到硅衬底，就是各种噪声。网上查 了一下，对于比较平整的表面，需要将Setpoint调小然后增大P Gain，I Gain。 但是实际操作上，无论怎么调小Setpoint，增大PID，都不能得到有用的信号。 再者，PID过大会引起信号的振荡。 哪位高手有用AFM的经验，给小弟一个测硅衬底的参考参数。  |
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