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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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1351459515

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻胶是N244,显影液是NMD-3,2.38%,曝光后有清晰图像,一显影全没了? 已有3人参与

光刻胶是N244,显影液是NMD-3,2.38%,曝光后有清晰图像,一显影全没了?
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温馨妹

新虫 (小有名气)


1351459515(明亮的眼眸代发): 金币+1, 感谢回复。 2017-04-27 17:08:19
显影时间太长?

发自小木虫IOS客户端
2楼2017-04-24 13:44:11
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1351459515

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 温馨妹 at 2017-04-24 13:44:11
显影时间太长?

显影时间从10s改到40s,还是啥都没有,可能前烘和软烘这块没控制好,附着力太差,具体什么原因不清楚,求大神指导
3楼2017-04-24 17:58:25
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
1351459515(明亮的眼眸代发): 金币+3, 感谢回复。 2017-04-27 17:08:34
这支胶寿命很短,估计过期了。
曝光之后有清晰图形,说明曝光剂量够。这是负胶,你曝光的地方不可能10s就被显影掉。
胶的供应商怎么说?
4楼2017-04-24 18:35:26
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1351459515

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2017-04-24 18:35:26
这支胶寿命很短,估计过期了。
曝光之后有清晰图形,说明曝光剂量够。这是负胶,你曝光的地方不可能10s就被显影掉。
胶的供应商怎么说?

保质期一年
5楼2017-04-25 16:40:55
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贪吃的小瓶儿

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖


1351459515(明亮的眼眸代发): 金币+1, 感谢回复。 2017-04-27 17:08:51
您是要做lift-off工艺嘛,您线条的最小分辨率多少,我们可以推荐您用其他的胶的

发自小木虫IOS客户端
6楼2017-04-27 14:47:32
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小?儿

新虫 (初入文坛)

7楼2017-05-03 20:16:36
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shijie6356

铁虫 (著名写手)

8楼2018-09-07 16:42:00
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shijie6356

铁虫 (著名写手)

你的显影液中表面活性剂是什么?

发自小木虫Android客户端
9楼2018-09-07 16:44:00
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yanqingzhi

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

我今天做了AZ5214E正胶的实验,片子用plasma处理之后,直接涂胶了,正常显影时间后,片子上什么也没有留下。然后我用跟它同样进行plasma处理的片子,先进行了HMDS处理,再涂胶什么的,参数都一样,显影结果就很好。所以,我猜想是不是光刻胶的粘附力太差了。
10楼2018-09-21 16:15:51
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