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光刻胶是N244,显影液是NMD-3,2.38%,曝光后有清晰图像,一显影全没了?
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1351459515
新虫
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专业: 半导体材料
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光刻胶是N244,显影液是NMD-3,2.38%,曝光后有清晰图像,一显影全没了?
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光刻胶是N244,显影液是NMD-3,2.38%,曝光后有清晰图像,一显影全没了?
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1楼
2017-04-23 14:21:32
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shijie6356
铁虫
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虫号: 3553295
注册: 2014-11-22
专业: 半导体电子器件
你的显影液中表面活性剂是什么?
发自小木虫Android客户端
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9楼
2018-09-07 16:44:00
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温馨妹
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专业: 半导体光电子器件
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1351459515(明亮的眼眸代发): 金币+1, 感谢回复。
2017-04-27 17:08:19
显影时间太长?
发自小木虫IOS客户端
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2楼
2017-04-24 13:44:11
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1351459515
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专业: 半导体材料
引用回帖:
2楼
:
Originally posted by
温馨妹
at 2017-04-24 13:44:11
显影时间太长?
显影时间从10s改到40s,还是啥都没有,可能前烘和软烘这块没控制好,附着力太差,具体什么原因不清楚,求大神指导
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3楼
2017-04-24 17:58:25
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yswyx
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1351459515(明亮的眼眸代发): 金币+3, 感谢回复。
2017-04-27 17:08:34
这支胶寿命很短,估计过期了。
曝光之后有清晰图形,说明曝光剂量够。这是负胶,你曝光的地方不可能10s就被显影掉。
胶的供应商怎么说?
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4楼
2017-04-24 18:35:26
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