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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 工艺设计 » 光刻胶是N244，显影液是NMD-3，2.38%，曝光后有清晰图像，一显影全没了？
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1351459515

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻胶是N244，显影液是NMD-3，2.38%，曝光后有清晰图像，一显影全没了？ 已有3人参与

光刻胶是N244，显影液是NMD-3，2.38%，曝光后有清晰图像，一显影全没了？
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1楼 2017-04-23 14:21:32
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yanqingzhi

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

我今天做了AZ5214E正胶的实验，片子用plasma处理之后，直接涂胶了，正常显影时间后，片子上什么也没有留下。然后我用跟它同样进行plasma处理的片子，先进行了HMDS处理，再涂胶什么的，参数都一样，显影结果就很好。所以，我猜想是不是光刻胶的粘附力太差了。
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10楼2018-09-21 16:15:51
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温馨妹

新虫 (小有名气)
★
1351459515(明亮的眼眸代发): 金币+1, 感谢回复。 2017-04-27 17:08:19
显影时间太长？

发自小木虫IOS客户端
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2楼2017-04-24 13:44:11
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1351459515

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 温馨妹 at 2017-04-24 13:44:11
显影时间太长？

显影时间从10s改到40s,还是啥都没有，可能前烘和软烘这块没控制好，附着力太差，具体什么原因不清楚，求大神指导
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3楼2017-04-24 17:58:25
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
1351459515(明亮的眼眸代发): 金币+3, 感谢回复。 2017-04-27 17:08:34
这支胶寿命很短，估计过期了。
曝光之后有清晰图形，说明曝光剂量够。这是负胶，你曝光的地方不可能10s就被显影掉。
胶的供应商怎么说？
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4楼2017-04-24 18:35:26
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