| 查看: 1335 | 回复: 6 | |||
[交流]
请问哪里有实验条件可做基于液体硅源（如TEOS）的SiO2 CVD 已有6人参与
|
| 请问各位大侠，哪里有实验条件可以做基于液体硅源（如TEOS）的CVD？我想通过基于TEOS的CVD或PECVD来长一层1微米的SiO2薄膜，要保证较好的step coverage，侧壁长厚一点，这样才有可能达到填充沟槽（fill gap）的效果。谢谢大家！ |
回复此楼» 猜你喜欢
求助WO3.cif文件 对应PDF卡片 43-1035，单斜晶系 , P21/n 。
已经有2人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有13人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有125人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有6人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
26 届青岛大学纺织化学与染整工程硕士（液体纳米分散染料方向）求申博建议
已经有4人回复
-
26 届青岛大学纺织化学与染整工程（液体纳米分散染料）求浙理工纺织 / 材料博导名额
已经有1人回复
-
敢问Acta Pharmaceutica Sinica B with Editor 三周了，能是什么情况？
已经有0人回复
-
求助 CeO2 Fe3O4 Cu2S CoFe2O4 标准卡 Jade 导出的数据
已经有0人回复
zhanglang51 
木虫 (正式写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 3104.8
- 散金: 169
- 红花: 1
- 帖子: 404
- 在线: 378.3小时
- 虫号: 352332
- 注册: 2007-04-22
- 性别: GG
- 专业: 集成电路制造与封装
2楼2020-03-20 00:17:17
babyoflion
金虫 (著名写手)
- 应助: 183 (高中生)
- 金币: 4776.5
- 散金: 301
- 红花: 30
- 帖子: 2507
- 在线: 671.9小时
- 虫号: 2297725
- 注册: 2013-02-25
- 性别: GG
- 专业: 光学
3楼2020-03-20 08:02:15
4楼2020-03-26 20:07:45
5楼2020-03-27 13:50:27
天涯胡人
木虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 1770.8
- 散金: 33
- 帖子: 67
- 在线: 71.8小时
- 虫号: 1798336
- 注册: 2012-05-06
- 性别: GG
- 专业: 有机分子功能材料化学
6楼2022-11-08 09:17:26
|
本帖内容被屏蔽 |
7楼2022-11-08 10:42:54