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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 请问哪里有实验条件可做基于液体硅源（如TEOS）的SiO2 CVD
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rugby

新虫 (初入文坛)

[交流] 请问哪里有实验条件可做基于液体硅源（如TEOS）的SiO2 CVD 已有6人参与

请问各位大侠，哪里有实验条件可以做基于液体硅源（如TEOS）的CVD？我想通过基于TEOS的CVD或PECVD来长一层1微米的SiO2薄膜，要保证较好的step coverage，侧壁长厚一点，这样才有可能达到填充沟槽（fill gap）的效果。谢谢大家！
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1楼 2017-04-20 03:39:41
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hgxt3368

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
7楼2022-11-08 10:42:54
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zhanglang51

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你好，你后来找到了吗？我最近也有这个需求，如果有消息烦告知

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2楼2020-03-20 00:17:17
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babyoflion

金虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我这可以做 可以站内联系
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3楼2020-03-20 08:02:15
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铟菲半导体

铜虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
楼主还有需求吗？可以联系我详谈

发自小木虫Android客户端
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4楼2020-03-26 20:07:45
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