| 查看: 1837 | 回复: 9 | ||||
[求助]
微纳加工图案线条宽度不均匀 已有2人参与
|
我制作的2um的长条电极出现了电极宽度不均匀的现象，这是光刻时间问题还是显影的问题？我在苏州纳米所做的，光刻机MA6-1，光刻胶ZA5214，曝光时间6s，显影时间45s。 图片1.jpg |
回复此楼» 猜你喜欢
招生负责_院士团队_学生高自由度成长_擅长学生培养
已经有5人回复
-
温州大学招收2026年入学博士研究生（化学、材料、环境）
已经有10人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有194人回复
-
非晶合金
已经有2人回复
-
院士团队-每届学生都优秀-高自由度-团队氛围好
已经有0人回复
-
求调剂
已经有3人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
-
武汉高校国家级人才团队招收材料，化学，纺织等专业硕士调剂生
已经有26人回复
-
纺大化工学院（官方群）-院士团队招生-学生自由度高发展好-培养模式成熟
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
2楼2017-04-17 16:04:57
3楼2017-04-17 16:10:15
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
dwx4062: 金币+5, ★★★★★最佳答案, 谢谢，按照你的建议，我仔细观察了光刻板，果然是光刻板的图案宽度不均匀。 2017-04-18 13:13:59
感谢参与，应助指数 +1
dwx4062: 金币+5, ★★★★★最佳答案, 谢谢，按照你的建议，我仔细观察了光刻板，果然是光刻板的图案宽度不均匀。 2017-04-18 13:13:59
|
从图形上看，刚好是光刻版的场拼接的地方，线条宽度突然变小。应该是光刻版的问题。 你再观察一下光刻版，看看是不是在某个地方突然变窄。 像你这么小的线条，制版的时候要注意，不仅仅要写明最小的线宽，还要要求一下线宽的精度。你可以问问研材微纳这边制版的技术人员，一般的话，对应的线宽和精度不一样，价格也不一样，你可以直接发邮件咨询一下。 另外，2um的线条，我们建议用stepper做比较保险。尤其是高密度长线条。 还有一种可能是光刻胶厚度上有台阶，不过这种几率非常小。 |
4楼2017-04-17 17:48:10
|
本帖内容被屏蔽 |
5楼2017-04-17 18:18:47
babyoflion
金虫 (著名写手)
- 应助: 183 (高中生)
- 金币: 4776.5
- 散金: 301
- 红花: 30
- 帖子: 2507
- 在线: 671.9小时
- 虫号: 2297725
- 注册: 2013-02-25
- 性别: GG
- 专业: 光学
6楼2017-04-18 08:36:42
7楼2017-04-19 06:46:30
vincentwz
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 70 (初中生)
- 金币: 14720.7
- 散金: 1899
- 红花: 4
- 帖子: 1652
- 在线: 1292.8小时
- 虫号: 645650
- 注册: 2008-11-04
- 专业: 物理电子学
8楼2017-04-19 07:21:27
|
本帖内容被屏蔽 |
9楼2017-04-19 16:30:51
xuhaiming13
新虫 (初入文坛)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 13.3
- 散金: 6
- 帖子: 14
- 在线: 6.4小时
- 虫号: 5096407
- 注册: 2016-10-08
- 专业: 环境微生物学
10楼2017-06-20 10:55:33
