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朱亚兰zyl

新虫 (初入文坛)

[求助] 薄膜 截面 SEM 已有1人参与

我有一个以硅片为基底的薄膜样品,薄膜厚度为50-80nm, 可以测一下截面的形貌,可以用SEM吗?
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一江烟雨

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
朱亚兰zyl: 金币+20, 谢谢你 2017-04-13 09:02:10
可以,取一小块截面朝上粘在台子侧面上
2楼2017-04-13 08:37:03
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朱亚兰zyl

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 一江烟雨 at 2017-04-13 08:37:03
可以,取一小块截面朝上粘在台子侧面上

请问硅片截面要打磨抛光吗?
3楼2017-04-13 09:03:01
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一江烟雨

木虫 (正式写手)

硅片不需要打磨吧,你只看薄膜吧
4楼2017-04-19 08:40:10
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