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朱亚兰zyl

新虫 (初入文坛)

[求助] 薄膜 截面 SEM 已有1人参与

我有一个以硅片为基底的薄膜样品，薄膜厚度为50-80nm, 可以测一下截面的形貌，可以用SEM吗？
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1楼 2017-04-12 21:11:21
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一江烟雨

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
朱亚兰zyl: 金币+20, 谢谢你 2017-04-13 09:02:10
可以，取一小块截面朝上粘在台子侧面上
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2楼2017-04-13 08:37:03
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朱亚兰zyl

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 一江烟雨 at 2017-04-13 08:37:03
可以，取一小块截面朝上粘在台子侧面上

请问硅片截面要打磨抛光吗？
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3楼2017-04-13 09:03:01
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一江烟雨

木虫 (正式写手)
硅片不需要打磨吧，你只看薄膜吧
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4楼2017-04-19 08:40:10
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