| 查看: 2070 | 回复: 8 | ||
ok12315木虫 (职业作家)
|
[求助]
求助电子束蒸镀钼膜密度及电导率偏低的问题 已有2人参与
|
最近小弟在使用电子束蒸镀法制备的钼（molybdenum，Mo）膜，使用基板分别为玻璃和单晶LaAlO3，发现所得薄膜密度均只能达到~8 g/cm3 （靶材为金属Mo密度为10.2 g/cm3），电导率也只有金属Mo的1/100。沉积过程中腔体压强控制在1E-4 Pa （无氧气），沉积电流为100-150 mA，电压 5 kV，沉积速度约为0.1 nm/s,基板温度大约100摄氏度。一开始我考虑是取样太急，高温下Mo被氧化了，但是等到基板降到室温后所得Mo膜性质仍然不好。XRD测试也显示样品中只有Mo，并没明显杂峰，我们实验室也用相同设备沉积Ti，Cr等金属，所得薄膜质量都不错，但一到Mo就出问题。现在实在是非常头疼，希望各位虫友能指点一下，不胜感激！ |
回复此楼» 猜你喜欢
天津理工大学功能晶体研究院（晶体材料全国重点实验室）招收2026年博士研究生
已经有0人回复
-
聚氨酯
已经有5人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有160人回复
-
景德镇某高校环境工程专业，需大量调剂名额
已经有0人回复
-
河南师范大学环境学院 2026年硕士研究生招生第二批调剂通知
已经有0人回复
-
天津理工大学功能晶体研究院（晶体材料全国重点实验室）招收2026年博士研究生
已经有2人回复
-
天津理工大学功能晶体研究院（晶体材料全国重点实验室）招收2026年博士研究生
已经有1人回复
-
天津理工大学功能晶体研究院（晶体材料全国重点实验室）招收2026年博士研究生
已经有0人回复
-
聚氨酯体系
已经有1人回复
-
磁性材料及器件期刊投稿评审意见帮忙指导
已经有4人回复
-
聚氨酯体系发泡
已经有4人回复
纳米材料753
木虫之王 (文学泰斗)
光岳之巅
- 应助: 809 (博后)
- 金币: 118854
- 散金: 110
- 红花: 100
- 沙发: 7
- 帖子: 95995
- 在线: 5183.5小时
- 虫号: 526529
- 注册: 2008-03-16
- 性别: GG
- 专业: 光学
2楼2017-04-04 16:27:41
ok12315
木虫 (职业作家)
- 应助: 9 (幼儿园)
- 金币: 4242.7
- 散金: 2609
- 红花: 14
- 帖子: 3463
- 在线: 154.3小时
- 虫号: 1650166
- 注册: 2012-02-28
- 专业: 其他无机非金属材料
3楼2017-04-05 08:33:29
4楼2017-04-05 17:08:12
ok12315
木虫 (职业作家)
- 应助: 9 (幼儿园)
- 金币: 4242.7
- 散金: 2609
- 红花: 14
- 帖子: 3463
- 在线: 154.3小时
- 虫号: 1650166
- 注册: 2012-02-28
- 专业: 其他无机非金属材料
5楼2017-04-05 17:18:07
peterflyer 
木虫之王 (文学泰斗)
peterflyer
- 应助: 20282 (院士)
- 金币: 146695
- 红花: 1374
- 帖子: 93091
- 在线: 7695小时
- 虫号: 1482829
- 注册: 2011-11-08
- 性别: GG
- 专业: 功能陶瓷
6楼2017-04-05 22:46:31
ok12315
木虫 (职业作家)
- 应助: 9 (幼儿园)
- 金币: 4242.7
- 散金: 2609
- 红花: 14
- 帖子: 3463
- 在线: 154.3小时
- 虫号: 1650166
- 注册: 2012-02-28
- 专业: 其他无机非金属材料
7楼2017-04-06 08:33:31
13015538501
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 61.8
- 红花: 2
- 帖子: 14
- 在线: 3.9小时
- 虫号: 6596043
- 注册: 2017-05-24
- 专业: 无机非金属类高温超导与磁
ok123158楼2017-05-24 11:41:52
ok12315
木虫 (职业作家)
- 应助: 9 (幼儿园)
- 金币: 4242.7
- 散金: 2609
- 红花: 14
- 帖子: 3463
- 在线: 154.3小时
- 虫号: 1650166
- 注册: 2012-02-28
- 专业: 其他无机非金属材料
9楼2017-05-28 18:27:43
28