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sdlcgx1985银虫 (初入文坛)
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使用多弧离子镀工艺镀膜氮化铬铝,镀膜腔室中都是黑色的物质
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| 我使用多弧离子镀工艺镀膜氮化铬铝,发现基片上、靶材上、整个镀膜腔室中都是黑色的物质,调整了镀膜工艺,还是这样,以前没有遇到过。请问大神知道是怎么回事吗? |
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fengmenglei
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