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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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sdlcgx1985

银虫 (初入文坛)

[求助] 使用多弧离子镀工艺镀膜氮化铬铝,镀膜腔室中都是黑色的物质

我使用多弧离子镀工艺镀膜氮化铬铝,发现基片上、靶材上、整个镀膜腔室中都是黑色的物质,调整了镀膜工艺,还是这样,以前没有遇到过。请问大神知道是怎么回事吗?
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sdlcgx1985

银虫 (初入文坛)

送红花一朵
整个镀膜腔室里,膜层上,靶材上都是黑色的感觉像起灰的东西。大家有遇到过吗?
2楼2017-03-24 09:30:38
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fengmenglei

新虫 (初入文坛)

那就是样品镀上的

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3楼2017-03-25 11:50:43
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sdlcgx1985

银虫 (初入文坛)

送红花一朵
引用回帖:
3楼: Originally posted by fengmenglei at 2017-03-25 11:50:43
那就是样品镀上的

麻烦请详细解释一下。我不太明白。
4楼2017-03-28 09:08:32
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sdlcgx1985

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by fengmenglei at 2017-03-25 11:50:43
那就是样品镀上的

我推测是镀膜时大液滴飞溅形成的大颗粒,对吗?
5楼2017-03-28 09:18:02
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sun346727296

新虫 (著名写手)

我也看到了,但是不知道啥东西
6楼2017-03-28 16:59:16
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