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使用多弧离子镀工艺镀膜氮化铬铝，镀膜腔室中都是黑色的物质
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| 我使用多弧离子镀工艺镀膜氮化铬铝，发现基片上、靶材上、整个镀膜腔室中都是黑色的物质，调整了镀膜工艺，还是这样，以前没有遇到过。请问大神知道是怎么回事吗？ |
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