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悠悠の茼桌

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助,制备微纳器件选择哪种光刻胶

各位大神,想要制备微纳器件,利用磁控溅射镀膜,尽量耐高温能耐150左右或更多,膜厚几个微米就可以,谢谢

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lvyiyilv

木虫 (职业作家)


3楼2017-03-21 20:28:07
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Alice_rong

银虫 (初入文坛)

可以试试PI(聚酰亚胺)温度稳定性高

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2楼2017-03-21 19:59:04
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