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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 求助，制备微纳器件选择哪种光刻胶
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悠悠の茼桌

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助，制备微纳器件选择哪种光刻胶

各位大神，想要制备微纳器件，利用磁控溅射镀膜，尽量耐高温能耐150左右或更多，膜厚几个微米就可以，谢谢

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1楼 2017-03-20 10:46:58
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Alice_rong

银虫 (初入文坛)
可以试试PI（聚酰亚胺）温度稳定性高

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2楼2017-03-21 19:59:04
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lvyiyilv

木虫 (职业作家)
双层胶，5460和3510

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3楼2017-03-21 20:28:07
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