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求助，制备微纳器件选择哪种光刻胶
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各位大神，想要制备微纳器件，利用磁控溅射镀膜，尽量耐高温能耐150左右或更多，膜厚几个微米就可以，谢谢 发自小木虫Android客户端 |
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Alice_rong
银虫 (初入文坛)
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- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
2楼2017-03-21 19:59:04
3楼2017-03-21 20:28:07