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悠悠の茼桌

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 23
帖子: 3
在线: 2小时
虫号: 6064132
注册: 2017-03-20
专业: 半导体电子器件

[求助] 求助，制备微纳器件选择哪种光刻胶

各位大神，想要制备微纳器件，利用磁控溅射镀膜，尽量耐高温能耐150左右或更多，膜厚几个微米就可以，谢谢

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无机化学论文润色/翻译怎么收费? 已经有130人回复

1楼2017-03-20 10:46:58

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

Alice_rong

银虫 (初入文坛)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 433.8
帖子: 11
在线: 696.3小时
虫号: 1257943
注册: 2011-04-07
专业: 半导体微纳机电器件与系统

可以试试PI（聚酰亚胺）温度稳定性高

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2楼2017-03-21 19:59:04

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

lvyiyilv

木虫 (职业作家)

应助: 62 (初中生)
金币: 380.1
散金: 1069
红花: 13
帖子: 3953
在线: 150.1小时
虫号: 799955
注册: 2009-06-27
性别: GG
专业: 半导体微纳机电器件与系统

双层胶，5460和3510

发自小木虫Android客户端

3楼2017-03-21 20:28:07

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

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