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kingskyfull金虫 (小有名气)
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pecvd镀膜异常 已有1人参与
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| pecvd镀非晶硅和氮化硅，基底用的单晶硅外延氧化硅和氮化硅的片子，发现镀膜区出现“起皮”，在镀膜的时候因为没起辉，将射频功率提高了8、9瓦，是射频功率太大了吗？起的皮是基底还是镀的膜呢？该怎么解决呢？求各位帮忙，有点急，谢谢了 |
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