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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » pecvd镀膜异常
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kingskyfull

金虫 (小有名气)

[求助] pecvd镀膜异常 已有1人参与

pecvd镀非晶硅和氮化硅，基底用的单晶硅外延氧化硅和氮化硅的片子，发现镀膜区出现“起皮”，在镀膜的时候因为没起辉，将射频功率提高了8、9瓦，是射频功率太大了吗？起的皮是基底还是镀的膜呢？该怎么解决呢？求各位帮忙，有点急，谢谢了
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1楼 2017-03-18 21:09:36
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dezhuli

金虫 (小有名气)

博士
你镀多厚

发自小木虫Android客户端
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2楼2017-03-19 13:57:16
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kingskyfull

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by dezhuli at 2017-03-19 13:57:16
你镀多厚

100nm左右
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3楼2017-03-19 15:04:53
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匿名

用户注销 (正式写手)
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4楼2017-07-30 22:51:09
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chenqisong

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

薄膜涨成张应力，薄膜peeling，主要调节一下频率就好

发自小木虫Android客户端
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新知*新世界*心动
5楼2017-08-26 00:17:37
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