| 查看: 2182 | 回复: 4 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
kingskyfull金虫 (小有名气)
|
[求助]
pecvd镀膜异常 已有1人参与
|
|
| pecvd镀非晶硅和氮化硅，基底用的单晶硅外延氧化硅和氮化硅的片子，发现镀膜区出现“起皮”，在镀膜的时候因为没起辉，将射频功率提高了8、9瓦，是射频功率太大了吗？起的皮是基底还是镀的膜呢？该怎么解决呢？求各位帮忙，有点急，谢谢了 |
回复此楼» 猜你喜欢
求助一篇MEMS散热器件文献
已经有0人回复
-
材化专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有205人回复
-
材料化学专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
kingskyfull
金虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 1104.6
- 红花: 1
- 帖子: 135
- 在线: 84.4小时
- 虫号: 2056703
- 注册: 2012-10-12
- 专业: 交叉学科中的光学问题
3楼2017-03-19 15:04:53
2楼2017-03-19 13:57:16
匿名
用户注销 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1209.8
- 散金: 1412
- 红花: 2
- 帖子: 800
- 在线: 61.6小时
- 虫号: 0
- 注册: 2015-04-28
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
4楼2017-07-30 22:51:09
chenqisong
木虫 (正式写手)
- 应助: 6 (幼儿园)
- 金币: 5330.9
- 散金: 57
- 红花: 2
- 帖子: 850
- 在线: 313小时
- 虫号: 889365
- 注册: 2009-10-31
- 性别: GG
- 专业: 数论
5楼2017-08-26 00:17:37
