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磁控溅射银膜怎么提高薄膜与基底的附着力 已有1人参与
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用紫外光刻机在SiO2基底上制作了四电极图案 磁控溅射银膜做电极 lift off 丙酮去胶 银膜全掉了 电极也没了 有什么办法可以让电极部分的银膜与SiO2基底的粘附力更强一点么 光刻用的是正胶 溅射功率200W 时间5-10分钟都做过 想请教一下各位前辈，有什么方法可以解决 是不是需要换基底？ |
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 薄膜制备与特性 |
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