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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 磁控溅射银膜怎么提高薄膜与基底的附着力
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新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射银膜怎么提高薄膜与基底的附着力 已有1人参与

用紫外光刻机在SiO2基底上制作了四电极图案   磁控溅射银膜做电极   lift off  丙酮去胶   银膜全掉了   电极也没了      有什么办法可以让电极部分的银膜与SiO2基底的粘附力更强一点么   光刻用的是正胶    溅射功率200W   时间5-10分钟都做过

想请教一下各位前辈，有什么方法可以解决   是不是需要换基底？
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薄膜制备与特性

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1楼 2017-03-04 18:51:10
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
氧化硅上直接溅射银黏附力肯定是很差的，一定要用Cr或者Ti来做过渡层来增加附着力。
另外，做lift off 工艺，最好需要用正胶，很难剥离的。可以找研材微纳买点儿反转胶或者负胶来做lift off
用氧化硅片是没什么问题的，用剥离也可以，都是绝缘的。
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10楼2017-03-07 14:02:50
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Casmo

木虫 (小有名气)
溅射做得少，不知道可不可以先做一层附着层？

在热蒸发或EB蒸发中，通常先蒸一层3-5 nm的铬(Cr)，然后再蒸银，附着性显著提高。
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9楼2017-03-06 09:04:10
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
镀银够有没有退火

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2楼2017-03-04 22:24:02
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zengbinjian

铜虫 (正式写手)
增加溅射功率试一下

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3楼2017-03-05 12:08:52
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新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2017-03-04 22:24:02
镀银够有没有退火

镀膜后退火到没有   退火可以增加附着力么  可以试下

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4楼2017-03-05 15:45:23
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新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zengbinjian at 2017-03-05 12:08:52
增加溅射功率试一下

功率试过300W   不过效果不是特别好

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5楼2017-03-05 15:47:30
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新虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2017-03-04 22:24:02
镀银够有没有退火

退火温度跟时间应该怎么控制？

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6楼2017-03-05 15:50:17
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zengbinjian

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 驰名认证 at 2017-03-05 15:47:30
功率试过300W   不过效果不是特别好
...

如果有改善的话，可以继续增加压强，或者还可以试下降低压强，还有，LIFT OFF工艺一般不能退火，

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7楼2017-03-06 00:55:47
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zengbinjian

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by zengbinjian at 2017-03-06 00:55:47
如果有改善的话，可以继续增加压强，或者还可以试下降低压强，还有，LIFT OFF工艺一般不能退火，
...

继续增加功率

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8楼2017-03-06 00:57:10
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