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新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射银膜怎么提高薄膜与基底的附着力 已有1人参与

用紫外光刻机在SiO2基底上制作了四电极图案   磁控溅射银膜做电极   lift off  丙酮去胶   银膜全掉了   电极也没了      有什么办法可以让电极部分的银膜与SiO2基底的粘附力更强一点么   光刻用的是正胶    溅射功率200W   时间5-10分钟都做过

想请教一下各位前辈,有什么方法可以解决   是不是需要换基底?
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zengbinjian

铜虫 (正式写手)

引用回帖:
7楼: Originally posted by zengbinjian at 2017-03-06 00:55:47
如果有改善的话,可以继续增加压强,或者还可以试下降低压强,还有,LIFT OFF工艺一般不能退火,
...

继续增加功率

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8楼2017-03-06 00:57:10
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

镀银够有没有退火

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» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2017-03-04 22:24:02
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zengbinjian

铜虫 (正式写手)

3楼2017-03-05 12:08:52
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驰名认证

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2017-03-04 22:24:02
镀银够有没有退火

镀膜后退火到没有   退火可以增加附着力么  可以试下

发自小木虫Android客户端
4楼2017-03-05 15:45:23
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