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zzubkf

新虫 (小有名气)
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PVD真空镀膜
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本在在做PVD真空镀膜，请教各位大神一个问题：
条件：在一定的真空环境下，腔体冲入C2H2，Ar，靶材为Si靶，Cr靶，启动一定的电压，电流，为什么可以在基板上镀上一层有“颜色”的膜层？这个颜色是如何呈现出来的呢？

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1楼 2017-03-03 18:26:08
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panxiuhe

铁杆木虫 (正式写手)
★
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只有乙炔、氩气，没有氮气吗？氮分压以及真空度会影响膜层的颜色
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21楼2017-03-21 13:08:32
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bddxx

金虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你应该是分层镀膜吧，不同的膜层构成物质不同，他们的反射，衍射，干涉不同，最后的叠加就会显示不同的颜色，同样的膜层呈现不同的颜色，你应该考虑一下你每一层膜的厚度及物质构成。
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25楼2017-03-26 19:53:21
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yaw0808

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
请问，在镀膜过程中塑胶与金属结合处为什么容易脱膜。。。
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26楼2017-07-10 19:13:30
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冰点降温

版主 (文坛精英)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
颜色来源于膜厚，不同的膜厚会导致颜色不同。
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18楼2017-03-04 09:20:07
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zzubkf

新虫 (小有名气)
引用回帖:
18楼: Originally posted by 冰点降温 at 2017-03-04 09:20:07
颜色来源于膜厚，不同的膜厚会导致颜色不同。

这个不对，同样的膜厚，颜色不同，为什么呢

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19楼2017-03-05 23:05:05
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15012743492

新虫 (初入文坛)
★
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硅和铬与乙炔反应，形成碳化硅和碳化铬，沉积在基板表面，就形成了你所说的“一层有颜色的膜层”。
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20楼2017-03-15 15:26:18
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aaron5235

木虫 (正式写手)
★
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引用回帖:
19楼: Originally posted by zzubkf at 2017-03-05 23:05:05
这个不对，同样的膜厚，颜色不同，为什么呢
...

厚度不同，反射不同

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22楼2017-03-24 13:09:34
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zzubkf

新虫 (小有名气)
引用回帖:
21楼: Originally posted by panxiuhe at 2017-03-21 13:08:32
只有乙炔、氩气，没有氮气吗？氮分压以及真空度会影响膜层的颜色

有N2，CrSiCN形成顺序

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23楼2017-03-24 21:24:21
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zzubkf

新虫 (小有名气)
引用回帖:
21楼: Originally posted by panxiuhe at 2017-03-21 13:08:32
只有乙炔、氩气，没有氮气吗？氮分压以及真空度会影响膜层的颜色

C2H2的高低如何影响颜色的？

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24楼2017-03-24 21:25:27
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lbt_xmc

新虫 (初入文坛)
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18楼: Originally posted by 冰点降温 at 2017-03-04 09:20:07
颜色来源于膜厚，不同的膜厚会导致颜色不同。

层主有礼了。我在纳闷颜色的问题。膜层颜色是膜层物质本来的颜色，还是膜层是光学膜层呀？我知道水渡的膜层是光学膜。
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27楼2017-07-19 10:47:39
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
彩色膜，说到底就是光学膜厚不同引起的，光学膜厚包括了物理膜厚以及膜层的光学参数（比如折射率）
乙炔的引入很可能在反应溅射过程中存在不均匀的现象，导致沉积的膜层质量在基片上有差异，从而反映出彩色条纹。
你可以观察下，这些彩色条纹其实是有规律的。
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28楼2017-11-16 17:51:41
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wsq淇淇2楼
2017-03-03 18:26   回复  
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wms19953楼
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jfsliu9楼
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woxinggde10楼
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兴儿9312楼
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zap6553513楼
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cuidalei14楼
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woodwest215楼
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57293214716楼
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小芝芝17楼
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