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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 无机/物化 » 物理化学 » PVD真空镀膜
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zzubkf

新虫 (小有名气)
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PVD真空镀膜
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本在在做PVD真空镀膜，请教各位大神一个问题：
条件：在一定的真空环境下，腔体冲入C2H2，Ar，靶材为Si靶，Cr靶，启动一定的电压，电流，为什么可以在基板上镀上一层有“颜色”的膜层？这个颜色是如何呈现出来的呢？

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1楼 2017-03-03 18:26:08
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zzubkf

新虫 (小有名气)
引用回帖:
21楼: Originally posted by panxiuhe at 2017-03-21 13:08:32
只有乙炔、氩气，没有氮气吗？氮分压以及真空度会影响膜层的颜色

有N2，CrSiCN形成顺序

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23楼2017-03-24 21:24:21
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wsq淇淇2楼
2017-03-03 18:26   回复  
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wms19953楼
2017-03-03 18:26   回复  
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激荡风雷4楼
2017-03-03 18:26   回复  
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子午常在5楼
2017-03-03 18:26   回复  
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云在青天6楼
2017-03-03 18:26   回复  
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ZWLweilai7楼
2017-03-03 18:26   回复  
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上海依阳8楼
2017-03-03 18:26   回复  
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jfsliu9楼
2017-03-03 18:26   回复  
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woxinggde10楼
2017-03-03 18:26   回复  
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bixuejian11楼
2017-03-03 18:27   回复  
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兴儿9312楼
2017-03-03 18:27   回复  
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zap6553513楼
2017-03-03 18:27   回复  
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cuidalei14楼
2017-03-03 18:27   回复  
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