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zzubkf

新虫 (小有名气)
已领完
PVD真空镀膜
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本在在做PVD真空镀膜，请教各位大神一个问题：
条件：在一定的真空环境下，腔体冲入C2H2，Ar，靶材为Si靶，Cr靶，启动一定的电压，电流，为什么可以在基板上镀上一层有“颜色”的膜层？这个颜色是如何呈现出来的呢？

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1楼 2017-03-03 18:26:08
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
彩色膜，说到底就是光学膜厚不同引起的，光学膜厚包括了物理膜厚以及膜层的光学参数（比如折射率）
乙炔的引入很可能在反应溅射过程中存在不均匀的现象，导致沉积的膜层质量在基片上有差异，从而反映出彩色条纹。
你可以观察下，这些彩色条纹其实是有规律的。
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28楼2017-11-16 17:51:41
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wsq淇淇2楼
2017-03-03 18:26   回复  
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wms19953楼
2017-03-03 18:26   回复  
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激荡风雷4楼
2017-03-03 18:26   回复  
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子午常在5楼
2017-03-03 18:26   回复  
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云在青天6楼
2017-03-03 18:26   回复  
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ZWLweilai7楼
2017-03-03 18:26   回复  
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上海依阳8楼
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jfsliu9楼
2017-03-03 18:26   回复  
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woxinggde10楼
2017-03-03 18:26   回复  
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bixuejian11楼
2017-03-03 18:27   回复  
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兴儿9312楼
2017-03-03 18:27   回复  
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zap6553513楼
2017-03-03 18:27   回复  
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cuidalei14楼
2017-03-03 18:27   回复  
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