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关于ALD设备生长的膜层均匀性的问题 已有1人参与
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在硅片上在不同的托盘上放置三十几片硅片，然后将载有硅片的托盘放置在工艺腔中生长Al2O3薄膜，如何计算片内均匀性（公式），板（托盘）内均匀性和板（托盘）间均匀性，最好详细点，列出 详细的公式，谢谢！ |
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4楼2017-05-11 14:13:08
all is well
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 60.5
- 帖子: 4
- 在线: 10.1小时
- 虫号: 4458283
- 注册: 2016-03-02
- 性别: MM
- 专业: 金属基复合材料
2楼2017-04-16 23:57:08
3楼2017-05-11 14:12:28
10