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关于ALD设备生长的膜层均匀性的问题已有1人参与
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在硅片上在不同的托盘上放置三十几片硅片，然后将载有硅片的托盘放置在工艺腔中生长Al2O3薄膜，如何计算片内均匀性（公式），板（托盘）内均匀性和板（托盘）间均匀性，最好详细点，列出 详细的公式，谢谢！ |
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