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wyytg

铁虫 (初入文坛)

[交流] 【请教】样品成分含量-深度分析怎么测呢?

结构是两层膜,上层厚100nm,下层厚400um。
想知道深度1um以内的元素含量随深度变化的图。

用什么样的测试技术呢?

[ Last edited by 张甜 on 2008-12-19 at 11:44 ]
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发展才是硬道理
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moqifengzi

金虫 (正式写手)

可以用俄歇。
2楼2008-12-19 11:52:04
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whatever9216

铁虫 (初入文坛)

用SIMS
3楼2008-12-19 15:10:05
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tingyee

金虫 (小有名气)

一层一层溅射,一层一层测好了
4楼2008-12-19 16:20:32
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wyytg

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
Originally posted by whatever9216 at 2008-12-19 15:10:
用SIMS

请问用什么测试方法呢,可以具体说一下吗?
发展才是硬道理
5楼2008-12-19 21:53:04
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wyytg

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
Originally posted by tingyee at 2008-12-19 16:20:
一层一层溅射,一层一层测好了

1um的深度一次一次的溅射可行吗,具体用什么技术呢?

俄歇好像是表面分析,其他的不了解。
发展才是硬道理
6楼2008-12-19 21:57:19
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