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【请教】样品成分含量-深度分析怎么测呢？
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结构是两层膜，上层厚100nm，下层厚400um。 想知道深度1um以内的元素含量随深度变化的图。 用什么样的测试技术呢？ [ Last edited by 张甜 on 2008-12-19 at 11:44 ] |
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5楼2008-12-19 21:53:04
tingyee
金虫 (小有名气)
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- 专业: 半导体光电子器件
4楼2008-12-19 16:20:32
6楼2008-12-19 21:57:19