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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【请教】样品成分含量-深度分析怎么测呢？
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wyytg

铁虫 (初入文坛)

[交流] 【请教】样品成分含量-深度分析怎么测呢？

结构是两层膜，上层厚100nm，下层厚400um。
想知道深度1um以内的元素含量随深度变化的图。

用什么样的测试技术呢？

[ Last edited by 张甜 on 2008-12-19 at 11:44 ]
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发展才是硬道理
1楼 2008-12-19 11:35:11
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tingyee

金虫 (小有名气)
一层一层溅射，一层一层测好了
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4楼2008-12-19 16:20:32
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wyytg

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
Originally posted by whatever9216 at 2008-12-19 15:10:
用SIMS

请问用什么测试方法呢，可以具体说一下吗？
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发展才是硬道理
5楼2008-12-19 21:53:04
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wyytg

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
Originally posted by tingyee at 2008-12-19 16:20:
一层一层溅射，一层一层测好了

1um的深度一次一次的溅射可行吗，具体用什么技术呢？

俄歇好像是表面分析，其他的不了解。
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发展才是硬道理
6楼2008-12-19 21:57:19
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