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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 综合其他 » 磷化铟超精密加工
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豹子头阿孔1

新虫 (初入文坛)

[求助] 磷化铟超精密加工 已有1人参与

磷化铟作为半导体材料，为什么关于它的研磨抛光等超精密加工文献和研究很少呢？

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1楼 2017-02-16 14:24:45
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西贝柳斯

金虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★ ★
sty112: 金币+5 2017-02-19 21:15:52
引用回帖:
4楼: Originally posted by 豹子头阿孔1 at 2017-02-18 13:55:42
是不是针对这种材料的研磨抛光研究意义不大呢？
...

研究意义挺大的，获得良好的表面是下一步外延的基础，只是因为磷化铟的加工不是研究热点了。
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6楼2017-02-18 20:59:13
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西贝柳斯

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
磷化铟比较贵，容易碎，磨着磨着就碎了，普通学校研究起来太费钱了。其实磷化铟的研磨和抛光过程与其他半导体材料基本一致，重要的仪器参数和研磨抛光配方是具有商业价值的，一般企业都会保密吧。
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豹子头阿孔1
2楼2017-02-18 10:28:43
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豹子头阿孔1

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 西贝柳斯 at 2017-02-18 10:28:43
磷化铟比较贵，容易碎，磨着磨着就碎了，普通学校研究起来太费钱了。其实磷化铟的研磨和抛光过程与其他半导体材料基本一致，重要的仪器参数和研磨抛光配方是具有商业价值的，一般企业都会保密吧。

像碳化硅、砷化镓价格应该也不低吧，但高校关于它们的研究和文献相对多很多。老师让写篇关于磷化铟加工的文章，发现可引用的文章比较少。

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3楼2017-02-18 13:54:11
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豹子头阿孔1

新虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by 西贝柳斯 at 2017-02-18 10:28:43
磷化铟比较贵，容易碎，磨着磨着就碎了，普通学校研究起来太费钱了。其实磷化铟的研磨和抛光过程与其他半导体材料基本一致，重要的仪器参数和研磨抛光配方是具有商业价值的，一般企业都会保密吧。

是不是针对这种材料的研磨抛光研究意义不大呢？

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4楼2017-02-18 13:55:42
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