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豹子头阿孔1

新虫 (初入文坛)

[求助] 磷化铟超精密加工 已有1人参与

磷化铟作为半导体材料,为什么关于它的研磨抛光等超精密加工文献和研究很少呢?

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西贝柳斯

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
磷化铟比较贵,容易碎,磨着磨着就碎了,普通学校研究起来太费钱了。其实磷化铟的研磨和抛光过程与其他半导体材料基本一致,重要的仪器参数和研磨抛光配方是具有商业价值的,一般企业都会保密吧。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2017-02-18 10:28:43
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豹子头阿孔1

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 西贝柳斯 at 2017-02-18 10:28:43
磷化铟比较贵,容易碎,磨着磨着就碎了,普通学校研究起来太费钱了。其实磷化铟的研磨和抛光过程与其他半导体材料基本一致,重要的仪器参数和研磨抛光配方是具有商业价值的,一般企业都会保密吧。

像碳化硅、砷化镓价格应该也不低吧,但高校关于它们的研究和文献相对多很多。老师让写篇关于磷化铟加工的文章,发现可引用的文章比较少。

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3楼2017-02-18 13:54:11
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豹子头阿孔1

新虫 (初入文坛)

送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by 西贝柳斯 at 2017-02-18 10:28:43
磷化铟比较贵,容易碎,磨着磨着就碎了,普通学校研究起来太费钱了。其实磷化铟的研磨和抛光过程与其他半导体材料基本一致,重要的仪器参数和研磨抛光配方是具有商业价值的,一般企业都会保密吧。

是不是针对这种材料的研磨抛光研究意义不大呢?

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4楼2017-02-18 13:55:42
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西贝柳斯

金虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 豹子头阿孔1 at 2017-02-18 13:54:11
像碳化硅、砷化镓价格应该也不低吧,但高校关于它们的研究和文献相对多很多。老师让写篇关于磷化铟加工的文章,发现可引用的文章比较少。
...

嗯,磷化铟的价格至少是砷化镓的三倍吧,价格是一方面,加工难度也是很大的,处理不好很容易碎裂,碳化硅、砷化镓起码不易碎,据了解国内有能力加工磷化铟的研究机构就只有半导体所和天津46所。可以查查外文,英文文献可能介绍多一些。
5楼2017-02-18 20:55:42
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西贝柳斯

金虫 (小有名气)

★ ★ ★ ★ ★
sty112: 金币+5 2017-02-19 21:15:52
引用回帖:
4楼: Originally posted by 豹子头阿孔1 at 2017-02-18 13:55:42
是不是针对这种材料的研磨抛光研究意义不大呢?
...

研究意义挺大的,获得良好的表面是下一步外延的基础,只是因为磷化铟的加工不是研究热点了。
6楼2017-02-18 20:59:13
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豹子头阿孔1

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
5楼: Originally posted by 西贝柳斯 at 2017-02-18 20:55:42
嗯,磷化铟的价格至少是砷化镓的三倍吧,价格是一方面,加工难度也是很大的,处理不好很容易碎裂,碳化硅、砷化镓起码不易碎,据了解国内有能力加工磷化铟的研究机构就只有半导体所和天津46所。可以查查外文,英文 ...

嗯,谢谢你!

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7楼2017-02-18 21:07:02
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