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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 工艺设计 » 溶胶凝胶法制备薄膜的旋涂问题
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柯秋tan

新虫 (初入文坛)

[求助] 溶胶凝胶法制备薄膜的旋涂问题

请教各位一个工艺问题，利用溶胶凝胶法在硅片上面旋涂氧化物薄膜，没有办法形成均匀的薄膜，总是出现很多孔洞或者裂纹，肉眼明显可见：
1. 尝试改变旋涂的转速和加速度，成膜情况一样不能均匀
2. 催化剂或螯合剂在溶胶凝胶前驱体中如何作用？
3. 有时候可以单层均匀成膜，但是多层开始又会同样出现孔洞裂纹
4. 溶胶凝胶法中的热处理过程的具体原理？
5. 溶剂挥发速度如何控制？
折腾近一年了都没有办法解决成膜的问题，求助试试有没有解决方法，谢谢大家！

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1楼 2017-02-15 15:48:02
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daheluntan

银虫 (小有名气)
你溶剂加的多吧？还有，表面有没有处理？

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4楼2017-03-11 16:40:33
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柯秋tan

新虫 (初入文坛)
溶胶凝胶法制备薄膜的旋涂问题

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2楼2017-02-16 14:33:02
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柯秋tan

新虫 (初入文坛)
图片中的散射裂膜，衬底清洗，排除洁净度引起的，个人觉得是溶液前驱体的原因，但不知道具体原因在哪

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3楼2017-02-16 14:36:30
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18261770032

木虫 (小有名气)
★ ★
柯秋tan(空灵天地代发): 金币+2, 多谢交流，回复！ 2017-03-13 08:24:48
猜测:1/基片没清洗干净；2/溶胶制备的温度和搅拌时间有问题；3/ph值没有调节

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5楼2017-03-11 19:09:30
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