| 查看: 2695 | 回复: 5 | ||
[求助]
溶胶凝胶法制备薄膜的旋涂问题
|
|
请教各位一个工艺问题，利用溶胶凝胶法在硅片上面旋涂氧化物薄膜，没有办法形成均匀的薄膜，总是出现很多孔洞或者裂纹，肉眼明显可见： 1. 尝试改变旋涂的转速和加速度，成膜情况一样不能均匀 2. 催化剂或螯合剂在溶胶凝胶前驱体中如何作用？ 3. 有时候可以单层均匀成膜，但是多层开始又会同样出现孔洞裂纹 4. 溶胶凝胶法中的热处理过程的具体原理？ 5. 溶剂挥发速度如何控制？ 折腾近一年了都没有办法解决成膜的问题，求助试试有没有解决方法，谢谢大家！ 发自小木虫Android客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
苏州国家实验室依托苏州大学，面向2027年秋季入学招收博士生
已经有0人回复
-
生物脱氮的碳源账：甲醇、乙酸钠、葡萄糖怎么选，以及内碳源到底值不值得挖
已经有0人回复
-
物理化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有116人回复
-
27申博自荐-硕士研究COF--材料/化学/物理/器件均可
已经有0人回复
-
福建师范大学招收2027年博士研究生（申请考核）
已经有26人回复
-
含氯化工废水的电催化：活性氯是免费氧化剂还是麻烦制造者？
已经有0人回复
-
纳米悬浮稳定剂，制作醇基悬浮用。
已经有0人回复
-
以色列理工学院全额奖学金硕博士招生 | 王燕课题组 · 柔性生物界面实验室
已经有0人回复
-
求助《生物化学》第三版的章节习题和答案完整版
已经有0人回复
-
求助《生物化学》第三版的章节习题和答案完整版
已经有0人回复
-
石墨电极在化工浓水零排前端的角色：不是主战，但少它不行
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 旋涂法涂制薄膜，薄膜表面有许多肉眼可见的小颗粒而不成膜态，应该怎么解决？
已经有12人回复
- 溶胶凝胶法+旋涂法制备薄膜
已经有9人回复
- 用有机溶胶-凝胶，添加PVP做有机溶剂成膜后，PVP怎么去除？
已经有4人回复
- BiFeO3薄膜旋涂烧结后，电阻怎么提不高啊？
已经有6人回复
- 怎样才能制备成膜性能好透光率好的二氧化硅薄膜？
已经有15人回复
- MoO3 WO3 合成方面的问题
已经有3人回复
- 溶胶——凝胶法制备ZnO薄膜晶体管中遇到的问题，新人诚心求教……
已经有2人回复
2楼2017-02-16 14:33:02
3楼2017-02-16 14:36:30
daheluntan
银虫 (小有名气)
- 应助: 41 (小学生)
- 金币: 257
- 红花: 1
- 帖子: 168
- 在线: 47.1小时
- 虫号: 570249
- 注册: 2008-06-07
- 性别: GG
- 专业: 有机合成
4楼2017-03-11 16:40:33
18261770032
木虫 (小有名气)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 2487.6
- 散金: 30
- 红花: 2
- 帖子: 154
- 在线: 53.1小时
- 虫号: 2738057
- 注册: 2013-10-20
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
★ ★
柯秋tan(空灵天地代发): 金币+2, 多谢交流，回复！ 2017-03-13 08:24:48
柯秋tan(空灵天地代发): 金币+2, 多谢交流，回复！ 2017-03-13 08:24:48
|
猜测:1/基片没清洗干净；2/溶胶制备的温度和搅拌时间有问题；3/ph值没有调节 发自小木虫Android客户端 |
5楼2017-03-11 19:09:30
6楼2017-12-08 19:17:13
