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xp304

铁杆木虫 (小有名气)

[交流] 请问如何屏蔽射频对质量流量计的影响【有效期至09年1月15日】

最近自己做了一台RF-PECVD装置,但是在放电的时候,增加射频功率对质量流量计的影响非常大,气体流量乱变。不知道如何屏蔽射频对质量流量计的影响?请牛人赐教,谢谢!

[ Last edited by zzgyb on 2009-1-15 at 11:37 ]
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whictliu

银虫 (小有名气)

我来了

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
xp304(金币+10,VIP+0):问题解决了,谢谢!
将质量流量计接地
3楼2008-12-29 21:15:57
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xp304

铁杆木虫 (小有名气)

怎么没人啊!!急~~~~~~~~
2楼2008-12-17 09:08:54
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