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[交流]
请问如何屏蔽射频对质量流量计的影响【有效期至09年1月15日】
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最近自己做了一台RF-PECVD装置，但是在放电的时候，增加射频功率对质量流量计的影响非常大，气体流量乱变。不知道如何屏蔽射频对质量流量计的影响？请牛人赐教，谢谢！ [ Last edited by zzgyb on 2009-1-15 at 11:37 ] |
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