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小木虫论坛-学术科研互动平台» 网络生活区» 有奖问答 » 有奖问答中转子版 » 学术实验 » 请问如何屏蔽射频对质量流量计的影响【有效期至09年1月15日】
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xp304

铁杆木虫 (小有名气)

[交流] 请问如何屏蔽射频对质量流量计的影响【有效期至09年1月15日】

最近自己做了一台RF-PECVD装置，但是在放电的时候，增加射频功率对质量流量计的影响非常大，气体流量乱变。不知道如何屏蔽射频对质量流量计的影响？请牛人赐教，谢谢！

[ Last edited by zzgyb on 2009-1-15 at 11:37 ]
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1楼 2008-12-16 11:11:36
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xp304

铁杆木虫 (小有名气)
怎么没人啊！！急~~~~~~~~
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2楼2008-12-17 09:08:54
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whictliu

银虫 (小有名气)

我来了

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
xp304(金币+10,VIP+0):问题解决了，谢谢！
将质量流量计接地
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3楼2008-12-29 21:15:57
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