| 查看: 131 | 回复: 2 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
[交流]
请问如何屏蔽射频对质量流量计的影响【有效期至09年1月15日】
|
|||
|
最近自己做了一台RF-PECVD装置，但是在放电的时候，增加射频功率对质量流量计的影响非常大，气体流量乱变。不知道如何屏蔽射频对质量流量计的影响？请牛人赐教，谢谢！ [ Last edited by zzgyb on 2009-1-15 at 11:37 ] |
回复此楼» 猜你喜欢
拟解决的关键科学问题还要不要写
已经有7人回复
-
最失望的一年
已经有3人回复
-
存款400万可以在学校里躺平吗
已经有20人回复
-
国自然申请面上模板最新2026版出了吗？
已经有19人回复
-
请教限项目规定
已经有3人回复
-
基金委咋了？2026年的指南还没有出来？
已经有10人回复
-
基金申报
已经有6人回复
-
推荐一本书
已经有13人回复
-
疑惑？
已经有5人回复
-
溴的反应液脱色
已经有7人回复
2楼2008-12-17 09:08:54
3楼2008-12-29 21:15:57