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ok12315木虫 (职业作家)
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求助电子束蒸镀法沉积钼薄膜的相关问题 已有1人参与
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我在电子束蒸镀Mo薄膜时，发现沉积速率非常低，个人认为可能是Mo熔点太高约2600摄氏度，但是蒸镀过程中速率波动较大，例如，刚开始速率约1埃/秒，但是十分钟过后速率就几乎为零了，蒸镀室内靶材亮度也大幅度降低，而且进一步增大灯丝电流无法加快蒸镀速率，请问这是什么原因呢？求解 发自小木虫IOS客户端 |
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fyl1989
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11楼2017-06-01 11:13:43
kangye_1989
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2楼2017-01-17 08:14:05
ok12315
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3楼2017-01-17 08:30:03
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