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zdj419438797铜虫 (初入文坛)
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关于石墨烯转移PMMA的去除问题? 已有2人参与
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楼主刚进实验室的小白,这学期开始做氮化硼薄膜的转移,六方氮化硼跟石墨烯原子结构相似,也是二维材料,所以标题就写了石墨烯(因为做的人多)。 有个问题,关于PMMA的去除,我们旋涂上PMMA后用Fecl3溶液腐蚀掉铜,然后贴在硅片上,再用80摄氏度的丙酮浸洗,结果在电镜下做EDS找不到氮化硼薄膜。 会不会是:1.PMMA没有洗掉 2.薄膜被丙酮冲走了? 我看文献中有写用丙酮蒸汽洗的 通入H2/Ar 450摄氏度;但也有直接浸泡的; 请教大神们,你们都用的什么方法除去PMMA的? 祝大家新年快乐@神魔流转@dut_ameng@wulishi8@yswyx@nowitzki_ci@xiejf |
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youthboy0
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zdj419438797
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fbqrdzs: 金币+2 2017-01-26 11:48:59
fbqrdzs: 金币+2 2017-01-26 11:48:59
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还没有 下学期去试试,目前问过做过石墨烯转移的人,说用退火除胶比较好,薄膜连续性好一些:10氢气,20氩气,低压,400℃,保温2小时。 贴合的话 一个是基底一定清洗干净 还有就是贴上膜后先自然风干 再在烘箱中烘干 发自小木虫Android客户端 |
3楼2017-01-24 12:45:27
youthboy0
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