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zdj419438797

铜虫 (初入文坛)

[求助] 关于石墨烯转移PMMA的去除问题? 已有2人参与

楼主刚进实验室的小白,这学期开始做氮化硼薄膜的转移,六方氮化硼跟石墨烯原子结构相似,也是二维材料,所以标题就写了石墨烯(因为做的人多)。
有个问题,关于PMMA的去除,我们旋涂上PMMA后用Fecl3溶液腐蚀掉铜,然后贴在硅片上,再用80摄氏度的丙酮浸洗,结果在电镜下做EDS找不到氮化硼薄膜。
会不会是:1.PMMA没有洗掉
2.薄膜被丙酮冲走了?
我看文献中有写用丙酮蒸汽洗的 通入H2/Ar 450摄氏度;但也有直接浸泡的;
请教大神们,你们都用的什么方法除去PMMA的?
祝大家新年快乐@神魔流转@dut_ameng@wulishi8@yswyx@nowitzki_ci@xiejf
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zdj419438797

铜虫 (初入文坛)

★ ★
fbqrdzs: 金币+2 2017-01-26 11:48:59
引用回帖:
2楼: Originally posted by 道隐小成 at 2017-01-23 10:39:38
求问楼主解决问题了吗?我也有这种情况,我是将石墨烯转移到COC上,目前都是失败。石墨烯贴合不了coc,所以加丙酮冲洗以后石墨烯会被冲走。。。。对COC进行表面处理以后也没用。。。

还没有 下学期去试试,目前问过做过石墨烯转移的人,说用退火除胶比较好,薄膜连续性好一些:10氢气,20氩气,低压,400℃,保温2小时。
贴合的话 一个是基底一定清洗干净 还有就是贴上膜后先自然风干 再在烘箱中烘干

发自小木虫Android客户端
3楼2017-01-24 12:45:27
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查看全部 11 个回答

道隐小成

新虫 (初入文坛)

★ ★
fbqrdzs: 金币+2 2017-01-26 11:48:53
求问楼主解决问题了吗?我也有这种情况,我是将石墨烯转移到COC上,目前都是失败。石墨烯贴合不了coc,所以加丙酮冲洗以后石墨烯会被冲走。。。。对COC进行表面处理以后也没用。。。
2楼2017-01-23 10:39:38
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youthboy0

新虫 (正式写手)

4楼2017-03-04 18:31:33
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youthboy0

新虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by zdj419438797 at 2017-01-24 12:45:27
还没有 下学期去试试,目前问过做过石墨烯转移的人,说用退火除胶比较好,薄膜连续性好一些:10氢气,20氩气,低压,400℃,保温2小时。
贴合的话 一个是基底一定清洗干净 还有就是贴上膜后先自然风干 再在烘箱中烘 ...

有办法了吗?我这边用丙酮泡了就没有石墨烯了。拜谢大哥!

发自小木虫Android客户端
5楼2017-03-04 18:32:39
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