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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 关于石墨烯转移ＰＭＭＡ的去除问题？
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zdj419438797

铜虫 (初入文坛)

[求助] 关于石墨烯转移ＰＭＭＡ的去除问题？ 已有2人参与

楼主刚进实验室的小白，这学期开始做氮化硼薄膜的转移，六方氮化硼跟石墨烯原子结构相似，也是二维材料，所以标题就写了石墨烯（因为做的人多）。
有个问题，关于ＰＭＭＡ的去除，我们旋涂上ＰＭＭＡ后用Ｆｅｃｌ３溶液腐蚀掉铜，然后贴在硅片上，再用８０摄氏度的丙酮浸洗，结果在电镜下做ＥＤＳ找不到氮化硼薄膜。
会不会是：１.ＰＭＭＡ没有洗掉
２.薄膜被丙酮冲走了？
我看文献中有写用丙酮蒸汽洗的　通入Ｈ２／Ａｒ　４５０摄氏度；但也有直接浸泡的；
请教大神们，你们都用的什么方法除去ＰＭＭＡ的？
祝大家新年快乐@神魔流转@dut_ameng@wulishi8@yswyx@nowitzki_ci@xiejf
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1楼 2017-01-13 14:39:58
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zdj419438797

铜虫 (初入文坛)
★ ★
fbqrdzs: 金币+2 2017-01-26 11:48:59
引用回帖:
2楼: Originally posted by 道隐小成 at 2017-01-23 10:39:38
求问楼主解决问题了吗？我也有这种情况，我是将石墨烯转移到COC上，目前都是失败。石墨烯贴合不了coc，所以加丙酮冲洗以后石墨烯会被冲走。。。。对COC进行表面处理以后也没用。。。

还没有 下学期去试试，目前问过做过石墨烯转移的人，说用退火除胶比较好，薄膜连续性好一些：10氢气，20氩气，低压，400℃，保温2小时。
贴合的话 一个是基底一定清洗干净 还有就是贴上膜后先自然风干 再在烘箱中烘干

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3楼2017-01-24 12:45:27
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梦想村庄

新虫 (正式写手)
楼主你好，不知道你的PMMA是在哪买的呢，能否告知，将不胜感激，谢谢！
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8楼2017-03-21 20:41:18
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道隐小成

新虫 (初入文坛)
★ ★
fbqrdzs: 金币+2 2017-01-26 11:48:53
求问楼主解决问题了吗？我也有这种情况，我是将石墨烯转移到COC上，目前都是失败。石墨烯贴合不了coc，所以加丙酮冲洗以后石墨烯会被冲走。。。。对COC进行表面处理以后也没用。。。
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2楼2017-01-23 10:39:38
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youthboy0

新虫 (正式写手)
PMMA怎么搞掉的？亲！

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4楼2017-03-04 18:31:33
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youthboy0

新虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zdj419438797 at 2017-01-24 12:45:27
还没有 下学期去试试，目前问过做过石墨烯转移的人，说用退火除胶比较好，薄膜连续性好一些：10氢气，20氩气，低压，400℃，保温2小时。
贴合的话 一个是基底一定清洗干净 还有就是贴上膜后先自然风干 再在烘箱中烘 ...

有办法了吗？我这边用丙酮泡了就没有石墨烯了。拜谢大哥！

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5楼2017-03-04 18:32:39
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_末骸_

金虫 (小有名气)
丙酮泡个半天就可以了

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6楼2017-03-07 18:10:31
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zctf

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

刚刻蚀完铜，用硅片捞起后，要先晾干再用加热板烘烤
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劣质反应釜。。。
7楼2017-03-10 09:46:12
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zdj419438797

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 梦想村庄 at 2017-03-21 20:41:18
楼主你好，不知道你的PMMA是在哪买的呢，能否告知，将不胜感激，谢谢！

我是自己配的  质量分数5% PMMA/苯甲醚 溶液
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9楼2017-03-22 08:08:15
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梦想村庄

新虫 (正式写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by zdj419438797 at 2017-03-22 08:08:15
我是自己配的  质量分数5% PMMA/苯甲醚 溶液...

联系方式能给个吗？私信

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10楼2017-03-22 10:49:15
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