24小时热门版块排行榜    

查看: 1229  |  回复: 5

sun346727296

新虫 (著名写手)

[求助] 请教大家,磁控溅射的射频匹配器与靶接口处(靶一侧)发热是什么原因?怎么处理 已有2人参与

最近遇到这个棘手的问题,我看了下耦合,靶屏蔽都正常,有没有高手指点下。
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hs_77

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
sun346727296: 金币+2, ★★★很有帮助 2017-03-17 22:26:35
这个问题的话,可能是由几个方面引起,第一个接触不良,第二个镀膜过程中本身发热没有及时散去;要看你的具体情况而对待。
Jackofalltrades,Butspecialofnone.
2楼2017-01-16 11:33:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

sciencetechn

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
sun346727296: 金币+2, ★★★很有帮助 2017-03-17 22:26:23
看看冷却水降温是否正常,靶材是否绑定铜背板,铜背板能增强靶材导电导热性能
专业研发高纯磁控溅射靶材蒸发镀膜材料:15210523788(微信),北京金源新材
3楼2017-02-22 13:54:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

sun346727296

新虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by hs_77 at 2017-01-16 11:33:11
这个问题的话,可能是由几个方面引起,第一个接触不良,第二个镀膜过程中本身发热没有及时散去;要看你的具体情况而对待。

嗯,现在发现是靶接触不好,有点缝隙,但是又不能压很紧,我想问下,如果靶接触不是特别好,引起发热会不会影响电源什么的,镀一个小时的话,温度感觉也有几十度了。
4楼2017-03-17 22:25:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

sun346727296

新虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by sciencetechn at 2017-02-22 13:54:13
看看冷却水降温是否正常,靶材是否绑定铜背板,铜背板能增强靶材导电导热性能

嗯,现在发现是靶接触不好,有点缝隙,但是又不能压很紧,我想问下,如果靶接触不是特别好,引起发热会不会影响电源什么的,镀一个小时的话,温度感觉也有几十度了。
5楼2017-03-17 22:26:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hs_77

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
4楼: Originally posted by sun346727296 at 2017-03-17 22:25:52
嗯,现在发现是靶接触不好,有点缝隙,但是又不能压很紧,我想问下,如果靶接触不是特别好,引起发热会不会影响电源什么的,镀一个小时的话,温度感觉也有几十度了。...

这是一个比较不好的现象,对设备与镀膜质量都有一定的影响;要看你的基材材质,决定对影响大小。设备方面的话,对电源影响应该不大。
Jackofalltrades,Butspecialofnone.
6楼2017-03-18 08:37:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 sun346727296 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 7K1CJE38xLG4 2026-08-25 3/150 2026-08-25 23:20 by cNXvBfCpiZOM
[基金申请] 今天务委会开完了,明天出结果吗 +17 angus9576 2026-08-25 21/1050 2026-08-25 22:39 by 悠悠美女
[基金申请] 在坚冰还盖着北海的时候,我看到了怒放的梅花。 (金币+10) +6 ziyangfang 2026-08-25 9/450 2026-08-25 20:26 by huagongfeihu
[基金申请] 明天应该可查了!? +6 chengyan1220 2026-08-23 6/300 2026-08-25 19:45 by zfd97
[基金申请] 放榜前的不淡定 20+4 snowwithsea 2026-08-19 19/950 2026-08-25 17:57 by chick875
[基金申请] 某些机构,以效率低为荣,以效率低作为存在感 +9 yuleib84 2026-08-25 10/500 2026-08-25 17:14 by alexon
[基金申请] 2026国自然函评费到账 +20 羊腰板 2026-08-21 23/1150 2026-08-25 16:34 by zsna
[基金申请] 今日不放榜?网传国自然预计 8 月 27 日可查结果 +17 医学老男孩 2026-08-20 22/1100 2026-08-25 15:36 by 医学老男孩
[基金申请] 如果此刻你正在为国基感到焦虑,不妨来听听这首《基金之外》 +8 scalable 2026-08-24 8/400 2026-08-25 12:52 by jnhyjjm
[基金申请] 人气不行了 +11 fansofjerry 2026-08-21 11/550 2026-08-25 11:04 by 孤独的英雄6
[教师之家] 导师吐槽:我怎么摊上了这么个极品研究生! +3 苏东坡二世 2026-08-23 3/150 2026-08-25 10:35 by shisan1313
[基金申请] 2026年的国家社科基金项目通讯评审的新规则与新动向、新挑战 +5 process2012 2026-08-23 7/350 2026-08-25 09:42 by huixian257
[基金申请] 今天基金会出结果吗?20260819 +17 kkkl_v 2026-08-19 18/900 2026-08-25 09:41 by windflowerwy
[基金申请] filecode,4个jtjc了 +14 ziyangfang 2026-08-19 17/850 2026-08-24 18:37 by 哈哈蛤?
[基金申请] 让我中一个面上吧! +13 大萍1987 2026-08-20 16/800 2026-08-24 10:23 by 太傻了
[基金申请] 今天放榜吗? +15 布布和一二 2026-08-19 16/800 2026-08-23 09:55 by 张春生
[基金申请] 时间戳今天,20号变了 +5 archvillain 2026-08-20 5/250 2026-08-22 06:12 by hui_daxiao
[基金申请] 看来今天不会放榜了? +8 chengyan1220 2026-08-21 11/550 2026-08-21 17:52 by dcqxinyang
[基金申请] 时间戳又变了 +13 wuchongjun 2026-08-20 19/950 2026-08-21 17:21 by 紫杉醇
[基金申请] 今天放榜没戏了吧 +9 yuleib84 2026-08-19 11/550 2026-08-21 10:06 by gltch
信息提示
请填处理意见