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sun346727296

新虫 (著名写手)

[求助] 请教大家,磁控溅射的射频匹配器与靶接口处(靶一侧)发热是什么原因?怎么处理 已有2人参与

最近遇到这个棘手的问题,我看了下耦合,靶屏蔽都正常,有没有高手指点下。
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hs_77

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
sun346727296: 金币+2, ★★★很有帮助 2017-03-17 22:26:35
这个问题的话,可能是由几个方面引起,第一个接触不良,第二个镀膜过程中本身发热没有及时散去;要看你的具体情况而对待。
Jackofalltrades,Butspecialofnone.
2楼2017-01-16 11:33:11
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sciencetechn

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
sun346727296: 金币+2, ★★★很有帮助 2017-03-17 22:26:23
看看冷却水降温是否正常,靶材是否绑定铜背板,铜背板能增强靶材导电导热性能
专业研发高纯磁控溅射靶材蒸发镀膜材料:15210523788(微信),北京金源新材
3楼2017-02-22 13:54:13
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sun346727296

新虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by hs_77 at 2017-01-16 11:33:11
这个问题的话,可能是由几个方面引起,第一个接触不良,第二个镀膜过程中本身发热没有及时散去;要看你的具体情况而对待。

嗯,现在发现是靶接触不好,有点缝隙,但是又不能压很紧,我想问下,如果靶接触不是特别好,引起发热会不会影响电源什么的,镀一个小时的话,温度感觉也有几十度了。
4楼2017-03-17 22:25:52
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sun346727296

新虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by sciencetechn at 2017-02-22 13:54:13
看看冷却水降温是否正常,靶材是否绑定铜背板,铜背板能增强靶材导电导热性能

嗯,现在发现是靶接触不好,有点缝隙,但是又不能压很紧,我想问下,如果靶接触不是特别好,引起发热会不会影响电源什么的,镀一个小时的话,温度感觉也有几十度了。
5楼2017-03-17 22:26:01
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hs_77

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
4楼: Originally posted by sun346727296 at 2017-03-17 22:25:52
嗯,现在发现是靶接触不好,有点缝隙,但是又不能压很紧,我想问下,如果靶接触不是特别好,引起发热会不会影响电源什么的,镀一个小时的话,温度感觉也有几十度了。...

这是一个比较不好的现象,对设备与镀膜质量都有一定的影响;要看你的基材材质,决定对影响大小。设备方面的话,对电源影响应该不大。
Jackofalltrades,Butspecialofnone.
6楼2017-03-18 08:37:47
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