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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 请教大家，磁控溅射的射频匹配器与靶接口处（靶一侧）发热是什么原因？怎么处理
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sun346727296

新虫 (著名写手)

[求助] 请教大家，磁控溅射的射频匹配器与靶接口处（靶一侧）发热是什么原因？怎么处理 已有2人参与

最近遇到这个棘手的问题，我看了下耦合，靶屏蔽都正常，有没有高手指点下。
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1楼 2017-01-13 10:15:44
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hs_77

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
4楼: Originally posted by sun346727296 at 2017-03-17 22:25:52
嗯，现在发现是靶接触不好，有点缝隙，但是又不能压很紧，我想问下，如果靶接触不是特别好，引起发热会不会影响电源什么的，镀一个小时的话，温度感觉也有几十度了。...

这是一个比较不好的现象，对设备与镀膜质量都有一定的影响；要看你的基材材质，决定对影响大小。设备方面的话，对电源影响应该不大。
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Jackofalltrades,Butspecialofnone.
6楼2017-03-18 08:37:47
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hs_77

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
sun346727296: 金币+2, ★★★很有帮助 2017-03-17 22:26:35
这个问题的话，可能是由几个方面引起，第一个接触不良，第二个镀膜过程中本身发热没有及时散去；要看你的具体情况而对待。
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Jackofalltrades,Butspecialofnone.
2楼2017-01-16 11:33:11
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sciencetechn

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
sun346727296: 金币+2, ★★★很有帮助 2017-03-17 22:26:23
看看冷却水降温是否正常，靶材是否绑定铜背板，铜背板能增强靶材导电导热性能
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专业研发高纯磁控溅射靶材蒸发镀膜材料：15210523788（微信），北京金源新材
3楼2017-02-22 13:54:13
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sun346727296

新虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by hs_77 at 2017-01-16 11:33:11
这个问题的话，可能是由几个方面引起，第一个接触不良，第二个镀膜过程中本身发热没有及时散去；要看你的具体情况而对待。

嗯，现在发现是靶接触不好，有点缝隙，但是又不能压很紧，我想问下，如果靶接触不是特别好，引起发热会不会影响电源什么的，镀一个小时的话，温度感觉也有几十度了。
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4楼2017-03-17 22:25:52
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