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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 晶体解析 » MOCVD设备源使用量计算问题
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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yueyxk

铁虫 (初入文坛)

[求助] MOCVD设备源使用量计算问题

有对MOCVD了解的大神吗？求助AIXTRON G5外延生长的各种源使用量的计算方式或者经验值~    Ps:新人没有什么金币，大家帮帮忙啦
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1楼 2017-01-09 00:33:55
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yueyxk

铁虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by houchunge at 2017-03-07 22:17:14
看一个金属有机物化合物气相外延的书籍吧，能有对基本概念有个了解，但是想要自己设计个材料，并且设定各个源的流量控制应该还是远远不够的

做过相关工作，基础已经有些了解的了，只是想深入研究一下。唉，没人带挺吃力的～

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3楼2017-03-11 14:49:30
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houchunge

木虫 (正式写手)
看一个金属有机物化合物气相外延的书籍吧，能有对基本概念有个了解，但是想要自己设计个材料，并且设定各个源的流量控制应该还是远远不够的

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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

yueyxk
晚安
2楼2017-03-07 22:17:14
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