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铁虫 (初入文坛)

[求助] MOCVD设备源使用量计算问题

有对MOCVD了解的大神吗？求助AIXTRON G5外延生长的各种源使用量的计算方式或者经验值~ Ps:新人没有什么金币，大家帮帮忙啦

1楼 2017-01-09 00:33:55

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木虫 (正式写手)

看一个金属有机物化合物气相外延的书籍吧，能有对基本概念有个了解，但是想要自己设计个材料，并且设定各个源的流量控制应该还是远远不够的

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yueyxk

晚安

2楼2017-03-07 22:17:14

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铁虫 (初入文坛)

送红花一朵

引用回帖:

2楼: Originally posted by houchunge at 2017-03-07 22:17:14
看一个金属有机物化合物气相外延的书籍吧，能有对基本概念有个了解，但是想要自己设计个材料，并且设定各个源的流量控制应该还是远远不够的

做过相关工作，基础已经有些了解的了，只是想深入研究一下。唉，没人带挺吃力的～

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3楼2017-03-11 14:49:30

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