[求助] 【求助】磁控溅射制备Zn薄膜，能起辉，辉光颜色为白色，薄膜不能沉积 已有1人参与

大家好，最近磁控溅射机械泵坏了很长时间，最近修好之后发现磁控溅射能起辉，辉光颜色为白色，但是溅射之后靶材基本上没变化，衬底基本看不到薄膜。靶材是Zn靶，溅射气体是Ar，衬底是SiO2。      具体沉积参数如下：起辉气压为5Pa，气流为10sccm，功率为100W，反射1-2之间，VPP=0.78；溅射气压为0.6Pa，气流为5sccm，功率为100W，反射1-2之间，VPP降到0.7。VPP一般刚开始溅射时比较高，后来会往下掉一点。 起辉的时候（5Pa）Plasma颜色白中带有紫色，但是当沉积气压为0.6Pa时，颜色基本上是白色了，如下图所示。沉积两个小时之后发现衬底基本上没有东西，用EDS分析有Zn在里面，用万用表量发现完全绝缘，估计有少量薄膜，但是非常薄，靶材基本上没啥变化。能正常起辉，不能溅射或者溅射速率非常小。 请问各位大神，这是什么原因造成的啊。之前用磁控溅射辉光是蓝色的，不知道这为什么是白色的。 谢谢大家。 IMG_0367.JPG

回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性

» 猜你喜欢

• 系统今天又提示维护了，估计离放榜不远了 已经有13人回复
• 2026年国自然面上资助率 已经有4人回复
• 微信指数没变化，科研之友没阅读 已经有16人回复
• 小木虫看见有人已经知道结果了 已经有17人回复
• 今年的WR进展到哪一步了？ 已经有9人回复
• 产物和副产物价值比较 已经有5人回复
• 时间戳他又来了 已经有17人回复
• 这个自发加氧反应的机理是什么？ 已经有7人回复
• J-J-W不为人知的一面 已经有19人回复
• 没消息就是被刷了呗 已经有14人回复